| Silicon Labs Series | Memory Size | RAM Size | Number of I/O | Speed | Package | |
| C8051F52x | 2 / 4 / 8kB x 8 | 256 x 8 | 8 | 25MHz | 10-QFN | |
| C8051F53x | 2 / 4 / 8kB x 8 | 256 x 8 | 16 | 25MHz | 20-QFN / 20-TSSOP |
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| Silicon Labs Series | Memory Size | RAM Size | Number of I/O | Speed | Package | |
| C8051F52x | 2 / 4 / 8kB x 8 | 256 x 8 | 8 | 25MHz | 10-QFN | |
| C8051F53x | 2 / 4 / 8kB x 8 | 256 x 8 | 16 | 25MHz | 20-QFN / 20-TSSOP |
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